線切割機床的單軸直線度，XY垂直度和系統回差是造成誤差的主要原因。中走絲線切割機，都沒實現閉環控制，機械傳動系統的回差已成為整機精度的最重要的指標，回差大體來自如下5個方面。

 1、齒輪間隙，線切割機床主要是步進電機與絲杠間的傳動齒輪。

 2、連接鍵的間隙，特別是絲杠上的大齒輪，點滴的間隙在回差上的反應都是不可忽視的。電機軸鍵間隙的影響不僅有回差，還拌有噪音。

 3、絲杠與絲母間的間隙，出廠后絲杠付的軸向傳動間隙通常在0.003以下，質差的產品則不太有保證。

 4、絲杠軸承間隙，這個間隙是靠軸承的內外環的軸向調整消除的，但如果軸承質量低劣，會在消除間隙后轉動極不靈活，一旦轉動輕快了就又有間隙了，所以該處的軸承是不可馬虎的。

 5、線切割機床力矩傳遞的整體剛性較差，造成柔弱部位的撓性變形使運動變得遲鈍滯后，也以間隙的方式體現出來。

 以上5個方面，共同造成了系統回差，實際加工中，即使是最簡單的封閉圖形，也至少有兩次排除回差，所以實際加工精度一般在不可消除的回差的兩倍左右。如果系統回差是0.006，那么加工精度在0.012是有可能的。 兩軸的垂直度和各軸的直線度是造成位移失真失準另一主要原因。位移失真失準就是誤差。只是這個誤差的量是隨機的，難以估算的。